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Rétrospective et développement sur l'industrie de nitrure de silicium

 Conceptuellement, les paramètres de l'étude sont moins; mais plus des recherche de technologies de composer et de piler. En vue macroscopique: les relation entre la qualité des matières et des poudres sorties sont pas minutieux; le processus est aussi pas très clair.
Problèmes causés sont:
1, Difficile de contrôler la teneur de l’impureté dans les poudre.
2, le rapport entre l'oxygène, le fer, l'aluminium et le silicium ne saisir pas simplement .
La nouvelle direction du développement est:
1, La haute pureté de silicium polycristal est toujours l'objectif que nous font des efforts.  
2, La demande du nitrure de silicium avec moins d’oxygène est grande, il est aussi le point important du développement.
3. Le moyen du procédé de gaz atmosphérique sera amélioré , afin de réduire la teneur d’aluminium dans la poudre de nitrure de silicium.
4, la technologie de broyage sous-micron poudre en moyen sèche va entrer dans l'industrie de nitrure de silicium.

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